光譜分析就是根據(jù)物質(zhì)的光譜來鑒別物質(zhì)種類以及確定它的化學(xué)組成和相對(duì)含量的方法。物質(zhì)本身可以發(fā)射光產(chǎn)生發(fā)射光譜，也可對(duì)光產(chǎn)生吸收和散射而形成吸收光譜。于是我們利用這些特有現(xiàn)象即可對(duì)物質(zhì)組分及含量進(jìn)行分析。 這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:具有極高的靈敏度和準(zhǔn)確度。例如，在檢測(cè)半導(dǎo)體材料硅和鍺的純度時(shí)，要求對(duì)其雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，在檢測(cè)過程中發(fā)現(xiàn)某些雜質(zhì)元素質(zhì)量在0. 1ng/g時(shí),都可以檢測(cè)出來，也就是說發(fā)現(xiàn)該雜質(zhì)元素的特征譜線存在。 從廣義講，各種電磁輻射都屬于光譜，一般按其波長(zhǎng)可分為: γ射線 0.00005-0.14nm; X射線 0.01~ 10nm 微波波譜 0.3~ 1mm 而光譜區(qū)可分為: 真空紫外區(qū) 10~ 200nm 近紫外區(qū) 200~ 380nm 可見光譜區(qū) 380~ 780nm 近紅外光譜 780nm~ 3pm 遠(yuǎn)紅外光譜 3- 300pm 光譜分析應(yīng)用的元素波長(zhǎng)，大部分在真空紫外區(qū)和近紫外區(qū)最多。
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